熱駆動型ポンプの開発

パイプ内の低圧気体にパイプに沿って温度勾配を与えると, 低温部から高温部へ向けて流れが起こる(熱遷移流). 本研究では,この種の現象を利用した機械的駆動部が不要の熱駆動型真空ポンプの開発を 数値シミュレーションと実験により進めている.

1. 原理

近日公開

2. 常圧気体用 Knudsenポンプ

近日公開

3. 真空用 熱尖端ポンプ

熱尖端流を利用した真空ポンプ試験装置